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有什么方法可以将晶圆减到超薄?
3 天前   浏览:176   来源:小萍子
为什么芯片要越来越薄,有什么方法能将晶圆减到超薄?

什么叫超薄晶圆?

常见几个厚度概念(以 8"/12" 为例):

常规晶圆:600–775 μm

薄晶圆:150–200 μm

超薄晶圆:100 μm 以下

极薄晶圆:50 μm、30 μm、甚至 10–20 μm


晶圆越来越薄的原因?
减小总厚度、缩短 TSV 长度、降低RC延迟
减小导通电阻、改善散热
终端产品的超薄需求

超薄晶圆的主要风险?
1,机械强度急剧下降,
2,翘曲严重
3,搬运难度大
4,正面结构极易损伤,容易破碎

有什么方法可以将晶圆减到超薄?

1,DBG工艺(Dicing Before Grinding)
把晶圆切到一半,但不切穿,让每颗 die 形状先定下来;背面仍然保持连接,晶圆整体性依旧存在。然后将晶圆背面开始磨薄,逐渐把未切透的硅磨掉,最后薄薄的一层硅被磨穿。详见之前的文章:

Disco公司的DBG工艺详解

图片


2,Taiko 工艺
只把晶圆中间区域磨薄,边缘保留厚度。详见文章:

Taiko工艺能将硅片减到多薄?
Taiko晶圆是如何去环的?

图片

3,临时键合工艺
临时键合就是把晶圆贴在一片“临时的骨架”上,让 wafer 从一个薄得像玻璃纸的脆片,变成一片可搬运、可加工的正常晶圆。它支撑 wafer,保护正面结构,抵抗热应力,让晶圆能薄到几十微米,还能做 TSV、电镀、键合等激烈工艺,是现代 3D 封装最关键的基础技术之一。


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