为什么芯片要越来越薄,有什么方法能将晶圆减到超薄?常见几个厚度概念(以 8"/12" 为例):
常规晶圆:600–775 μm
薄晶圆:150–200 μm
超薄晶圆:100 μm 以下
极薄晶圆:50 μm、30 μm、甚至 10–20 μm
1,DBG工艺(Dicing Before Grinding)把晶圆切到一半,但不切穿,让每颗 die 形状先定下来;背面仍然保持连接,晶圆整体性依旧存在。然后将晶圆背面开始磨薄,逐渐把未切透的硅磨掉,最后薄薄的一层硅被磨穿。详见之前的文章:临时键合就是把晶圆贴在一片“临时的骨架”上,让 wafer 从一个薄得像玻璃纸的脆片,变成一片可搬运、可加工的正常晶圆。它支撑 wafer,保护正面结构,抵抗热应力,让晶圆能薄到几十微米,还能做 TSV、电镀、键合等激烈工艺,是现代 3D 封装最关键的基础技术之一。