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半导体fab无尘室（Clean room）有啥用？

2024年08月19日 14:58 浏览：94 来源：小萍子

没有无尘室的半导体fab是不存在的。

一般根据级别半导体clean room分为Class1- Class1000000。（Class1：0.1微米以下的颗粒物数目每立方米不能超过10个；依次类推；数字越小，级别越高。）

为啥在半导体fab中一定要搞个无尘室呢？

第一、一定是防止wafer污染。一般来讲，半导体fab制造的产品线宽都是nm级别的，受不了任何微小的尘埃、微生物或其他污染物影响。所以，需要无尘室，进一步可以控制环境中的污染物，确保跑货环境的清洁度。

第二、控制湿度和温度。无尘室可以控制湿度和温度，这对于半导体制造过程中的化学反应和物理过程至关重要。某些过程对环境条件非常敏感，需要精确控制。

第三、减少静电。静电可以损坏半导体芯片上的微小电路。无尘室通过控制环境和使用抗静电材料来减少静电的产生。

第四、提高生产效率。在无尘室中，生产过程可以更加稳定和可预测，减少了由于环境因素导致的生产中断和质量控制问题，从而提高生产效率。

第五、保护工作人员。无尘室不仅保护半导体产品免受污染，同时也保护工作人员免受有害化学物质和工艺的影响。

无尘室到底怎么运行呢？

半导体洁净厂房通常采用垂直单向流的方式，通过推出作用将室内污染的空气排至室外，从而达到净化室内空气的目的。

洁净室空气净化主要分为三个阶段：

第一、使用初中效过滤器进行预处理。通过空调控制温湿度，同时通过其中搭载的过滤器对室外进入室内的新风进行预处理，拦截空气中常见的大颗粒物。该环节的设备位于洁净室物理隔离层壁板外部，预处理完成的空气将进入洁净室壁板内部。

第二、使用风机过滤单元进行深度过滤。风机过滤单元位于洁净室内部，满布于洁净室物理隔离层内部的顶端，对第一阶段预处理后的空气中未能处理的其他细微颗粒物、气态分子污染物、微生物进行进一步处理，以达到半导体生产车间的空气极高净化等级要求。

第三、内部空气持续循环。洁净室内部空气循环净化，回风通过高架地板及回风夹道，送至风机过滤单元（含高效/超高效过滤器、化学过滤器等）重新过滤后送入洁净室内重复使用。