视频为PM 晶圆台动画视频：

在半导体检测技术中，检测平台往往是整机的运动核心，平台需要承受高速高频的运动，且精度需要再纳米级，对于抗震和稳定性有极高的要求，具有高定位精度和稳定性！且能适用于各种非接触式和接触式检查。且晶圆检测平台一般需要多自由度运动，需要提供如 X、Y、Z 和 Theta 轴移动，以支持各种规格的的晶圆.

以下为一些运动平台的设计重点要素：个人总结的，欢迎指正!

1.在设计研究这种结构，需要进行各种计算和分析，且需要拓扑优化软件的优化和验证。晶圆平台在质量和刚度方面需要达到了良好的平衡。一般来说半导体高端精密设计，需要研究震动学和动力学！在平台执行各种运行需保持重心的平衡，高速设计需考虑轻量化设计，以适合高加速运动！

2.半导体到运动平台，一般为紧凑型设计，不能与做成传统堆叠系统，需要发挥其动态性能，减少阿贝误差！

3.有些龙门架构的运动平台需要遵守运动滑轨、重心和电机都在一个平面上。减少移动质量的臂增加刚度，从而提高系统性能。满足对高加速和短稳定时间的需求，这对于提高精度的重要指标！如图：类似这种结果一般会降低设计精度。电机会产生角动量，重心和电机力没在一条线上。且需要减少轴承上的负载  从而延长系统寿命.

4.平台在运动时，各移动部件会产生大量热量，但要将晶圆或产品保持在预期位置。需要保持系统架构的热稳定性。比如增加散热装置。使用特殊材料用于减少晶圆中心的移动，使用绝缘材料用于防止热量传递到关键部件。在实际应用过程中发现在超过  300  mm左右的行程上， X  和  Y  方向的机械精度在  2 g 加速度和  2 m/sec  速度下必须优于  1  µm 。该平面内的振动必须保持在  25 nm  以下。Z  轴上的振动（用于使晶圆进入光学器件的焦点） 必须保持在  10 nm  以下。晶圆以闪电般的速度来回运动 . 这一运动会在过程中产生大量热量.

5.关于震动，主要是结构方面和控制方面，平台震动舆 PID 参数之關係，太大的PID 参数會造成機構產生共振現象，造成平台抖動產生定位誤差，未來可以加入機的分析，察出PID参数對於機構共振频率之影響！

附上一段关于运动平台研究方法书籍，感兴趣可文末下载！

最后，需要实际验证和精度分析：