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晶圆厂中dummy片,测试片,真片的区别是什么?
晶圆厂中dummy片,测试片,真片的区别是什么?
2024年06月17日 10:15 浏览:805 来源:小萍子
知识星球(星球名:芯片制造与封测技术社区,星球号:63559049)里的学员问:看资料有了解到晶圆厂中有dummy wafer,test wafer,真片的叫法,这几种片子各自有什么作用吗?
dummy wafer
dummy的英文直译为“假的,仿真的”,dummy wafer也可以叫做假片。一般是没有图形,或只有若干层图形,主要的应用场景:
1,用于半导体设备的调试和校准,确保设备在正式生产前处于最佳状态。
2,在引入新工艺或调整现有工艺时,使用dummy片进行测试和优化,减少对量产片造成的风险。
test wafer
测试片(工程片)具有完整的工艺流程,包含了各种图形和结构的晶圆。主要作用:
1,在新的芯片产品导入过程中,使用测试片验证和优化新产品的制造工艺,最终实现量产。
2,当产线上的量产晶圆出现工艺问题时,做相应的DOE试验以改善工艺。
量产晶圆
量产
晶圆
用于生产需要给客户出货的半导体器件等,量产晶圆
在生产过程中进行严格的质量控制,确保产品符合客户要求能要求。
为什么要分这几类晶圆?
主要是从成本与重要性考虑。成本/重要性:量产晶圆>test wafer>dummy wafer.量产晶圆是要出货给客户,是整个公司的经济命脉,因此要保证量产晶圆高质高量地完成生产任务。工艺参数,工艺流程相对比较固定。任何改动都要确保100%的安全性。因此衍生出了一些成本较低,灵活性较强的dummy wafer,ENG wafer以避免对量产晶圆的浪费!
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