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半导体涂层的作用

前天 14:01 浏览：205 来源：小萍子

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：设备上常见的涂层有哪些？各有哪些作用？

什么是涂层？

涂层，是涂敷在晶圆，设备/配件上的表面的薄层，厚度从纳米到几微米不等，用于改变原有材料的性质，目的是为了保护、提升性能或实现某种特定功能的作用。

涂层的种类有哪些？

以设备/配件上的涂层为例，有：

涂层名称	应用区域	功能
等离子防蚀涂层（Y₂O₃, Al₂O₃）	刻蚀腔体、shower head、ceramic part	抗腐蚀、延长寿命
防粘附涂层（PTFE、DLC）	涂胶显影设备、喷嘴	减少光刻胶残留
导电/防静电涂层（ITO）	加热平台、静电吸盘	防止静电积聚，保护晶圆
热反射涂层	加热器或窗口片	提升能效，避免热量损失
抗划伤/耐磨涂层	robot arm、夹具	降低颗粒、避免晶圆损伤

涂层用什么方式来做的？

以设备/配件上的涂层为例，

1，化学气相沉积（CVD），PVD

2、热喷涂技术

3、离子镀技术

4，电镀，化学镀

涂层需要考虑哪些性质？

1，厚度

2，附着力

3，表面自由能

4，与底层材料的粘接力

5，耐等离子气体能力

6，金属离子率等