常见芯片可靠性测试
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温度循环测试 (TCT)
在温度循环测试 (TCT) 期间,半导体封装暴露在极低和极高的温度下,通常循环 1000 次。因此,TCT 测量半导体封装承受因循环暴露于热效应而导致的机械故障的能力。
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符合JEDEC JESD22-A104的TCT条件
JESD22-A104C 温度循环标准
TCT 在腔室中进行,其中半导体封装保持在高温和低温下。通常,样品在稳定一段时间后保持在一个极端温度设置下,这通常称为浸泡时间。在预期的浸泡时间之后,样品过渡到另一个温度设置。测试循环次数和浸泡时间通常会发生变化,以触发被评估的封装或部件中的不同失效机制。
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TCT 期间会发生什么?
TCT测试材料胀缩形成残余应力,随着时间推移导致内部应力积累及材料潜在疲劳
热循环过程
在热循环过程中,半导体芯片、金属引线框架或有机基板以及有机塑封料将以不同的程度收缩和膨胀。通常情况下,塑封料和金属引线框架倾向于比芯片本身有更多的膨胀。然而,由于它们是粘接在一起的,其实际膨胀程度会小于预期值。因此,这对塑封料或引线框架施加了一个压缩力。相反,具有非常低的热膨胀系数(CTE)的芯片被迫超出预期地膨胀,因为其他组件对其产生了拉力。这给芯片带来了拉伸(拉扯)应力。
这种现象在所有界面上产生残余应力,可能导致器件失效。在高温下,封装组件会膨胀;而在低温下,它们则会收缩。随着时间推移,在温度循环测试(TCT)中这些重复的热循环会导致内部应力的积累及材料潜在的疲劳。最终,这可能导致器件失效,这对于那些特别强调可靠性的应用中的半导体器件来说是一个关键问题。
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TCT 期间观察到的典型故障模式
界面
界面之间的分层材料的反复膨胀和收缩会导致残余应力的积累,随着时间的推移,这会削弱层之间的粘附力,从而导致分层。
芯片开裂
由于半导体芯片在 TCT 过程中受到的应力,半导体芯片本身可能会形成裂纹。
金属层位移
温度循环过程中产生的应力会导致芯片金属化移动或变形。这些运动可能肉眼不可见,但它们在微观尺度上可能很重要。随着时间的推移,这些运动可能会导致金属层偏离其预期位置或导致微小的裂纹和缺陷。
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热冲击
与TCT类似,热冲击是一种加速测试,旨在通过将半导体封装暴露在温度变化中来引发半导体封装中的不同故障模式。然而,不同的是,在热冲击过程中,温度变化迅速,即稳定期和浸泡时间相对较短。快速的温度变化往往模拟高功率器件自热、光学器件的打开和关闭以及波峰焊过程中的热效应。这种测试也在腔室中进行,腔室通常包含两种极端温度下的液体。与在气室中进行的 TCT 相比,使用液体介质的传热和吸收效率更高,这使得热冲击成为与温度相关的最严格的可靠性测试之一。
热循环与热冲击测试对比
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热冲击温度条件和推荐的流体
根据JEDEC JESD22-A106B
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测试条件
将试样放置于浴槽中,使其周围和上方的液体能够自由流动。对负载施加规定条件,并进行一组循环次数。如有必要,在试验过程中可能会因加载/卸载设备故障而中断。但是,如果中断超过给定试验总规定的循环次数的10%,则必须从头开始重新启动。
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失效标准
试验后,应进行目视检查和电气试验。如果测试器件在名义和最坏情况下无法展示功能,则认为出现故障。机械损坏,例如开裂、碎裂或断裂,也被视为故障,前提条件是这些损伤不是在操作测试中造成的。
热冲击温度条件和推荐的流体数据表
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高温储存试验
进行高温储存测试 (HTST) 是为了评估半导体封装在没有任何电应力的情况下长时间暴露在高温下的能力。HTST 可有效加速仅受温度影响的失效模式。任何能够施加受控高温的腔室或设备,例如对流烤箱和烘烤室,都可用于此测试。符合 JEDEC JESD22-A103C 的高温储存条件。
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高温储存试验测试条件
被测封装应在以下温度条件之下连续存放(至少 1000 小时)
高温存贮测试温度条列表
Kirkendall 效应-温度诱导扩散形成空隙
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HTST 期间会发生什么?
暴露在恒定的高温下会触发对温度敏感的过程,例如化学物质的氧化和扩散。当在高温下保持时,环氧树脂塑封料会被氧化,这可能会改变和降低其机械性能。另一方面,封装内化学物质的扩散形成了 Kirkendall 空隙。在半导体封装的不同关键区域可能会观察到空洞形成;然而,Kirkendall 效应(温度诱导扩散形成空隙)在焊接材料中更为普遍。
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HTST 期间观察到的典型失效模式
焊点失效
高温会导致化学物质随焊料扩散,在焊料-基板界面之间形成空隙和间隙。焊点的退化会导致开路失效(形成开路),从而降低导电性。
氧化和腐蚀
EMC 在高温下会发生热老化(氧化)。在 EMC 上形成氧化层,其厚度随着温度的升高而增加。氧化会极大地影响 EMC 的机械性能:(1)增加储能模量(2) 改变玻璃化转变温度和热膨胀系数,这些都会影响封装的可靠性。封装内的金属部件在 HTST 期间也容易受到腐蚀。
热循环引起的应力
高温下的热循环会引入机械应力,可能导致封装材料分层、开裂或疲劳失效。
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温度、湿度和偏置 (THB) 测试
温度、湿度和偏置测试 (THB) 评估电子封装在潮湿环境下的可靠性。在 THB 期间,温度和湿度会驱动半导体元件的腐蚀。同样,在整个器件上施加电压偏置,以模拟器件在其实际作环境中经历的偏置条件,目的是尽可能最大化集成电路上各个金属化区域之间的电位水平变化。THB 通常在 85 °C 和 85% RH 下进行,这就是为什么它被称为 85/85 测试。THB 执行 1000 小时。但是,在8小时、96 小时、 168 小时和 500小时后执行中间读数,以 监测测试过程中的可靠性。
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高加速温度和湿度应力测试
高度加速的温度和湿度应力测试 与温度、湿度和偏置测试对比
高度加速的温度和湿度应力测试
进行高度加速的温度和湿度应力测试 (HAST) 是为了评估半导体封装在暴露于温度、湿度、压力和偏置等恶劣条件下的可靠性。它特别适用于在运行过程中预计会暴露在潮湿环境中的电子元件。HAST 也称为压力锅测试 (PCT)。HAST 激活与 85/85 测试相同的故障机制。主要区别在于 HAST 采用更严格的条件。这就是为什么 HAST 可以进行 96 小时,并且仍然会引起与 THB 进行 1000 小时相同的压力。