一、什么是打线键合(Wire Bonding)?
打线键合就是将芯片上的电信号从芯片内部“引出来”的关键步骤。我们要用极细的金属线(多为金线、铝线或铜线)将芯片的焊盘(bond pad)和支架(如引线框架或基板)之间做电连接。
可以理解为:
“芯片是大脑,但得靠血管(引线)把信号输送出去,不然再聪明也干不了事。”
建立电连接:芯片内部与封装外部间的信号通道
提供可靠性:满足电性能、机械稳定性要求
保证生产良率:为后续封装打好基础
虽然有多种方式(例如热压键合、超声键合、热超声复合键合等),这里我们主要讲的是热超声金线球焊(Ball Bonding),这是最常见的一种,特别适合铝焊盘+金线的组合。
金线从打线机线轴中牵出,经过打线劈刀(Capillary)底部,露出短短的线尾。
打线机会用“放电”的方式,在金线尾部打出一个金球。这个球是在空气中自然形成的,因此叫自由空气球(Free Air Ball)。
就像是用电火花把金线的尾端熔掉形成一个金珠。
劈刀带着金球对准芯片上的焊盘(bond pad),缓缓向下压,让金球和焊盘贴合。
压好后,打线机会开始施加:
一定的压力
一定量的超声波振动能量
控制作用时间
这样做的目的是让金球与芯片焊盘之间的金属发生塑性变形+微观摩擦焊接,最终牢牢焊在一起。
劈刀抬起,同时拉动金线,从芯片焊盘开始画出一段弧形线,将线带到目标点:支架的焊盘(lead/frame pad 或 PCB pad)。
劈刀移动到支架焊盘位置,再次往下压线。
再次施加:
压力
超声能量
时间控制
这次不是压球,而是将金线压成“鱼尾”状贴附到支架焊盘上,完成第二端焊接。
劈刀继续抬起,并在移动中切断金线,在支架焊盘上留下“鱼尾”,同时在劈刀口留下新的线尾,为下一根线准备。
回到第1步,周而复始,直到所有焊盘都连线完成。
金球直径通常为60μm
厚度约20μm
太大易短路,太小焊接不牢
剪切力(Shear/Push Force):芯片端金球推力 > 20克
拉力(Pull Force):整条线拉断前应 > 109克力
这些测试是验证焊点强度是否达标的标准动作,不能忽略。
若打线作业延迟超72小时,要进行低温烘焙,把吸附的湿气烤掉
否则在封装注塑(Molding)时,水汽膨胀会导致封装开裂或界面脱层
焊盘若有污染或氧化层,会直接导致打线失败(金球脱落、鱼尾不粘)
必要时可使用等离子清洗机进行表面活化处理,恢复焊接性
1. 晶圆切割 → 2. 芯片贴片 → 3. 银胶烘焙
→ 4. ????打线键合 → 5. 封装成型 → 6. 电性测试 → 7. 成品分选
打线键合是芯片封装中最细致、最关键的工序之一,涉及机械精度、材料性能、热/超声参数控制等多方面的综合考量。金线虽细如发丝,但却承担着整个芯片与外部世界沟通的重任。
简单说就是:“金线细如丝,失误毁整批。”