为什么TGV的玻璃通孔有的是直接打孔,有的又需要刻蚀?有什么区别?除了激光,玻璃打孔的方式还有哪些?制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式,见下表:
使用激光打孔的好处?1,激光可实现高精度定位,孔位误差小;无需掩膜或钻头;能加工微米级孔径(<10 µm),也可根据功率调整孔深/孔径比。2,通过参数调节、聚焦控制可实现高密度阵列孔。3,可实现批量自动打孔,加工速度快;适合大尺寸面板化封装工艺。
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