本文介绍了金的物化性质,及其在集成电路制造中的应用和污染源。
金(Au),Gold,一方面,它是电性能极优、化学性质极稳定的贵金属,被广泛应用在芯片制程中;另一方面,它也是晶圆厂前段工艺中严禁引入的污染源,被列入高风险控制名单。
| |
---|
导电性 | |
抗氧化性 | |
化学稳定性 | |
延展性 | |
表面功能化能力强 | 易与有机分子键合,适合在MEMS、生物芯片中做功能层 |
1,金会在硅中扩散,尤其在高温下,金原子能迅速迁移,交叉污染。2,金在硅中引入的深能级陷阱会作为复合中心,显著降低载流子寿命,导致器件漏电流增加。1,金电极。在 GaAs、InP、GaN 等化合物半导体中,高频下金的低接触电阻、低损耗特性更为突出,适用于PA、LNA等射频模块。3,金凸点:用于倒装焊接,使用打线设备做出一个“金蘑菇头”,再进行热压焊接。4,金线键合:金线柔软、导电好、不氧化,焊接窗口大,使用方便。5,EUV掩模板金属:EUV掩模版为反射式掩模,需要选择对13.5 nm波长具有高反射率或吸收性的金属材料,来实现图形区域和背景区域的光强对比。而Au在13.5 nm下有良好吸收特性
END
转载内容仅代表作者观点