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石英在半导体设备中的应用

2025年02月19日 15:59 浏览：146 来源：小萍子

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，星球号：63559049）里的学员问：为什么炉管设备中常用石英部件，除了炉管，还有哪些应用？

石英的性质？

1，热膨胀系数低，在温度变化时，石英的体积变化极小。

2，纯度高，低端w(SiO2)≥99.9%(3N)，中端w(SiO2)≥99.99%(4N)，中高端w(SiO2)≥99.995%(4N5)，高端w(SiO2)≥99.998%(4N8)

3，耐高温，在高温环境下使用而不容易变形或破裂

4，化学性质稳定，不轻易与酸碱等发生反应

5，极好的绝缘性

6，透光性佳，机械强度好

石英的加工过程

石英矿==》石英砂==》石英的管，棒，碇==》石英件

其中石英砂来源于三种途径：1，天然石英 2，水晶石 3，人造石英

石英在半导体设备中的应用

在外延、光刻、扩散、氧化、清洗、CVD、RTP、PVD、Etch等工艺制程中都将用到石英部件。主要有：

1，石英炉管，是晶圆进行高温加热过程的区域

2，石英晶舟

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3，石英环

4，石英花篮

5，石英坩埚

等等