芯片贴装,亦称芯片粘贴或Die Attach,是半导体封装的核心工序之一,其目的是将芯片牢固、可靠地固定到封装基板或引线框架的芯片座上,并实现机械连接、电气连接和热通路。
四大贴装方法详解
1. 共晶粘贴法
原理:利用两种金属(如金和硅)在特定温度下发生共晶反应,生成熔点低于任一母材的合金,在液态界面移动过程中实现原子级扩散和紧密结合。
一般工艺:
1. 基板芯片座镀金。
2. 将芯片放置于基板上。
3. 在热氮气气氛中加热至共晶温度(如Au-Si约为425℃)并施加压力摩擦,破除氧化层。
4. 形成共晶液体,冷却后形成牢固的冶金结合。
预型片法:适用于大芯片。预先制作共晶合金片置于芯片与基座之间,加热时合金片熔化,可弥补平整度不足的问题。
特点:
优点:导热/导电性好,连接强度高,可靠性高。
缺点:工艺温度高,成本较高,可能因热膨胀系数不匹配产生热应力。
2. 焊接粘贴法
原理:利用合金焊料熔化后连接芯片与基板。
一般工艺:
1. 芯片背面淀积Au或Ni层。
2. 焊盘上淀积相应的金属层(如Au-Pd-Ag)。
3. 在焊料(硬质或软质)和热氮气氛中加热焊接。
焊料分类:
硬质焊料(如Au-Si, Au-Sn, Au-Ge)
优点:机械强度高,抗疲劳和抗潜变性能好。
缺点:应力较大,易因热失配导致破坏。
软质焊料(如Pb-Sn, Pb-Ag-In)
优点:可缓解应力问题。
工艺关键:需在芯片背面制作多层金属化层,以确保焊料的“润湿”性。
特点:
优点:热导率极高,非常适合高功率器件。
缺点:存在应力问题,工艺相对复杂。
3. 导电胶粘贴法
原理:利用银粉(导电)和高分子聚合物(如环氧树脂,粘接)的混合物实现粘接和导电。
导电胶类型:
1. 各向同性导电胶:在所有方向导电。
2. 导电硅橡胶:兼具导电、密封和电磁屏蔽功能。
3. 各向异性导电胶:仅在垂直方向(Z轴)导电,适用于倒装芯片,无应力影响。
贴装工艺:
膏状:点胶 -> 贴片 -> 固化(如150℃/1小时)。
固体薄膜:预切割 -> 放置 -> 热压接合。
特点:
优点:工艺温度低,成本低,无应力或低应力。
缺点:导热/导电性较差,热稳定性不佳,高温下可靠性下降,不适合高可靠领域。存在银迁移风险。
4. 玻璃胶粘贴法
原理:属于厚膜材料,由导电金属粉(Ag, Au等)、低温玻璃粉和有机溶剂混合成膏状,加热后玻璃粉熔融实现粘接。
工艺:通过印刷或点胶涂布 -> 放置芯片 -> 加热至玻璃熔融温度以上完成粘贴。
特点:
优点:耐高温,可靠性优于导电胶。
缺点:
工艺温度高,仅适用于陶瓷封装。
冷却过程中若降温速度控制不当,会产生较大应力,影响可靠性。
总结与对比
| 共晶粘贴法 | ||||
| 焊接粘贴法 | 热导率极佳 | |||
| 导电胶粘贴法 | ||||
| 玻璃胶粘贴法 |
核心考量因素:在选择贴装方法时,需要综合权衡 热性能(导热)、电性能(导电)、机械强度、工艺成本、工作温度和对芯片的应力 等因素。