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光刻的“底片”:芯片制造中的掩模版(Reticles
昨天 14:49   浏览:78   来源:小萍子

在芯片制造的精密过程中,有一道关键工序叫做“光刻”,而掩模版(Reticles,又称Masks)就是光刻机的“底片”,决定了芯片上电路的精细图案。

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什么是掩模版?

掩模版本质上是一块高质量的石英玻璃板,上面镀有一层不透光的铬膜。通过先进的微加工技术,芯片设计电路图被刻画在铬膜上,形成复杂的透光与不透光图案。

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它是如何工作的?

在光刻时,紫外光源透过掩模版,其上的图案经过光学透镜系统精确缩小倍数后,投影到涂有光敏光刻胶的硅片上。这就像一台超级精密的投影仪,将放大版的电路图“拍照”缩小到硅片上,从而定义出纳米级的晶体管和电路结构。

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掩模版上的布局奥秘

一块掩模版上通常并排排列着多个相同的芯片图案(称为Die),例如可以是4x4的阵列。这些图案之间的区域并非浪费,它们至关重要地分布着各种工艺监控结构和测试器件。工程师通过这些结构在制造过程中实时监测工艺质量,并在完工后测试电学特性,确保每片晶圆上的芯片都能达到严格的性能标准。

可以说,掩模版是连接芯片设计与实物制造的核心桥梁。没有它,再复杂精巧的电路设计也无法被复制到硅片上。它的精密程度,直接决定了芯片的性能与良率。

光掩膜版:半导体制造的关键组件与技术-CSDN博客


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