核心流程:Wafer → Dicing → Packaging
晶圆切割(Dicing)
用金刚石刀片或激光将晶圆切成独立裸片
芯片粘接(Die Attach)
银胶或DAF薄膜(Die Attach Film)将裸片固定在基板
互联工艺
金线键合(Wire Bonding):用25μm金线(比头发细1/3)连接芯片焊盘与基板
模塑封装(Molding)
环氧树脂模塑料(EMC)注入模具,高温固化形成保护壳;
核心流程:Wafer → Packaging → Dicing
晶圆级加工
重布线层(RDL):在整片晶圆上光刻出铜导线,重新排布焊盘位置
植球(Solder Bumping):通过电镀在焊盘上制作锡球或铜柱凸块
整片封装
整片晶圆涂覆保护层(PI/BCB介电材料);部分工艺增加硅通孔(TSV)实现3D堆叠
切割分离
完成所有封装步骤后切割晶圆,单片芯片直接可用
特性 | 传统封装 | 晶圆级封装(WLP) |
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流程顺序 | ||
处理对象 | ||
厚度 | ||
I/O密度 | ||
生产速度 | ||
典型应用 |